薄膜の評価技術ハンドブック

薄膜の評価技術ハンドブック
Handbook of Thin Film Characterization Technology
より高品質、高性能な薄膜作製に不可欠な薄膜の測定・評価技術を網羅したハンドブック!
物質、形状、性質の異なるさまざまな薄膜をより適切に評価するためにはどのようなポイントに留意し、どのような方法を用いたらよいか?
これまでさまざまな薄膜とともに用いられてきた多種多様な評価法を基礎から最先端の評価技術まで含め1冊に網羅!
第Ⅰ部では薄膜の形状、膜厚、構造、組成・結合状態といった基本事項の評価技術、第Ⅱ部では電気、磁気、光学、化学など手法別にまとめた薄膜の物性評価や熱物性評価、第Ⅲ部ではLSI、半導体パワーデバイス(欠陥評価とデバイス特性)、LED照明、薄膜太陽電池、薄型ディスプレイ、薄膜磁気メモリ、有機薄膜デバイス、バイオセンサなど薄膜の応用現場における評価事例を詳しく解説!
また、有機薄膜についても各部で別に項を設けて詳述! 薄膜を評価する際の道しるべに最適のハンドブック!
監修
金原 粲
東京大学 名誉教授 工学博士
編集委員長
吉田 貞史
(独)産業技術総合研究所 先進パワーエレクトロニクス研究センター 招聘研究員 工学博士
編集幹事
中川 茂樹
東京工業大学 大学院理工学研究科 電子物理工学専攻 教授 工学博士
波多野 睦子
東京工業大学 大学院理工学研究科 電子物理工学専攻 教授 工学博士
山田 寿一
(独)産業技術総合研究所 フレキシブルエレクトロニクス研究センター フレキシブル有機半導体チーム 主任研究員 博士(工学)
吉川 正信
株式会社東レリサーチセンター 取締役 表面科学研究部部長 工学博士
編集委員
内田 秀和
埼玉大学 大学院理工学研究科 数理電子情報部門 電気電子システム領域 准教授 博士(工学)
大岩 烈
オミクロン ナノテクノロジー ジャパン株式会社 代表取締役社長
梶川 浩太郎
東京工業大学 大学院総合理工学研究科 物理電子システム創造専攻 教授 博士(工学)
木村 滋
(公財)高輝度光科学研究センター 利用研究促進部門 ナノテクノロジー利用研究推進グループ グループリーダー 副主席研究員 博士(工学)
先崎 純寿
(独)産業技術総合研究所 先進パワーエレクトロニクス研究センター SiCパワーデバイスチーム 主任研究員 博士(工学)
馬場 茂
成蹊大学 理工学部 物質生命理工学科 教授 工学博士
馬場 哲也
(独)産業技術総合研究所 計測標準研究部門 招聘研究員 理学博士
二本 正昭
中央大学 理工学部 電気電子情報通信工学科 教授 工学博士
増田 淳
(独)産業技術総合研究所 太陽光発電工学研究センター 太陽電池モジュール信頼性評価連携研究体 連携研究体長 博士(工学)
矢野 史子
東北大学 金属材料研究所 材料照射工学部門 客員准教授 工学博士
執筆者 139名 執筆者一覧
発刊 2013年1月29日
体裁 B5判 二段組上製本 648頁
価格 48,000円(+税) ※ 国内送料弊社負担
ISBN 978-4-924728-67-7 C3050
発行 株式会社テクノシステム