| 発行：（株）産業技術サービスセンター |
| ■ 監 修 ■ | |
| 社団法人 精密工学会 超精密位置決め専門委員会 | |
| ■ 編集委員長 ■ | |
| 吉本 成香 | 東京理科大学 工学部 機械工学科 教授 工学博士 |
| ■ 編集幹事 ■ | |
| 佐藤 海二 | 東京工業大学 大学院総合理工学研究科 メカノマイクロ工学専攻 准教授 博士（工学） |
| ■ 編集委員 ■ 50音順 | |
| 茨木 創一 | 京都大学 大学院工学研究科 マイクロエンジニアリング専攻 准教授 Ph.D. |
| 大岩 孝彰 | 静岡大学 工学部 機械工学科 教授 工学博士 |
| 大橋 康二 | ケーエスエス㈱ |
| 高 偉 | 東北大学 大学院工学研究科 ナノメカニクス専攻 教授 工学博士 |
| 白石 昌武 | 茨城大学 大学理事，副学長 工学博士 |
| 深田 茂生 | 信州大学 工学部 機械システム工学科 教授 工学博士 |
| 古谷 克司 | 豊田工業大学 工学部 先端工学基礎学科 教授 博士（工学） |
| 牧野内 進 |
㈱ニコン 新事業開発本部 |
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■ 発 刊 ■ ２００８年
１２月 |
| 刊行の主旨 | 執筆者一覧 | 総 目 次 |
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●主な目次
(詳細目次は各編タイトルをクリックすると見られます。） |