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発行:(株)産業技術サービスセンター
実用 精密位置決め技術事典
 


 刊行の主旨 

 本書は,構造(弾性変形,熱変形など),アクチュエータ,センサと計測システム,案内要素,
制御法などの項目を挙げ,基本となる知識および位置決め技術との関連について分かり易
く記述した。また,第2編の実用事例では,半導体関連装置,工作機械,センサ,計測シス
テムなど,位置決め技術がきわめて重要な役割を果たしている代表的な装置やシステムを
選んで記述した。

 さらに,現在大学や研究所において実施されている位置決め技術関連の先端的な研究を
記載した。
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