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※当書籍は、『三省堂書店 神保町本店』でもお買い求めいただけます。 
ご来店の際は、ぜひお手に取ってご覧下さい。 
ISBN 978-4-924728-59-2 C3050 

◇◆テクノシステムの最新刊◆◇

次世代産業の基盤となるMEMS/NEMS技術を基礎からデバイス化・応用まで網羅した技術書。
MEMS/NEMS技術集大成の一冊

MEMS/NEMS工学全集
Fundamentals and applications of MEMS/NEMS Engineering

◇◆実用化されている技術はもとより、利用が期待される家電、電気通信医療・福祉環境生産現場農業漁業スポーツゲームなどあらゆる分野を取り上げました。◆◇

●監修 敬称略

 桑野 博喜
    東北大学 大学院工学研究科 ナノメカニクス専攻 教授 工学博士

●編集委員 敬称略,50音順

 小野 崇人 東北大学 教授 博士(工学) 
 小寺 秀俊 京都大学 教授 博士(工学)
 佐藤 一雄 名古屋大学 教授 工学博士
 下山 勲 東京大学 教授 工学博士
 庄子 習一 早稲田大学 教授 工学博士
 鈴木 健一郎 立命館大学 教授 博士(工学)
 羽根 一博 東北大学 教授 工学博士
 馬場 嘉信 名古屋大学 教授 理学博士

●執筆者
 114名      執筆者一覧 へ
●発 刊 2009年 4月 22日
●体 裁 B5判 二段組上製本 1128頁
●価 格 50,000円 (+税)
 ※ 国内送料弊社負担
●ISBN 978-4-924728-59-2 C3050
●発 行 株式会社テクノシステム


●主な目次 (詳細目次は各章タイトルをクリックすると見られます。)


第1章 序論


MEMS の歴史,課題と将来展望


第2章 MEMS/ NEMS 基礎

 総括
 第1節 力学基礎
 第2節 物理学基礎
 第3節 電磁気学基礎
 第4節 材料基礎
 第5節 化学基礎
 第6節 生物学基礎
 第7節 医学基礎
 第8節 環境・エネルギー学基礎

 
第3章 MEMS/NEMS プロセス基盤技術


 第1節 リソグラフィ技術  
 第2節 薄膜形成技術
 第3節 エッチング技術
 第4節 接合技術
 第5節 電解めっき
 第6節 立体加工技術
 第7節 マイクロ機械加工技術
 第8節 パッケージング技術
 第9節 バイオ・化学プロセス技術
 第10節 厚膜プロセス  

第4章 MEMS/NEMS 応用基盤技術

 
第1節 変調,増幅,フィルタリング,復調
 第2節 微小信号検出
 第3節 ワイヤレス送受信,アンテナ,電磁カップリング
 第4節 設計・シミュレーション技術
 第5節 マイクロ・ナノマニピュレータの遠隔操作技術
 第6節 IC カード
 第7節 センサネットワーク
 第8節 信頼性技術 第9節 トライボロジー  

第5章 MEMS/NEMS デバイス例

 総括
 第1節 加速度センサ  
 第2節 圧力センサ
 第3節 ジャイロ(角速度センサ)
 第4節 フローセンサ
 第5節 温度センサ
 第6節 赤外線センサ
 第7節 アクチュエータ
 第8節 光圧回転体とその応用
 第9節 磁気ヘッド,光ヘッド
 第10節 光スイッチ,フィルタ,光導波路  
 第11節 RF スイッチおよびフィルタ
 第12節 インクジェット
 第13節 ディスプレイ
 第14節 三次元構造デバイス
 第15節 化学センサ
 第16節 マイクロリアクター
 第17節 DDS(ドラッグ・デリバリー・システム)と MEMS&NEMS
 第18節 バイオチップ(タンパク質)
 第19節 クロマトグラフィ
 第20節 走査型プローブ顕微鏡(SPM)
 第21節 分析チップ
 第22節 表面プラズモン共鳴・局在プラズモン・電磁メタマテリアル
 第23節 燃料電池
 第24節 ロボットセンサ(触覚センサ,近接覚センサ,ビジョンセンサ)
 第25節 リモートパワリング・テレメータ
 第26節 マイクロ光学系
 第27節 近接型光帰還半導体レーザ
 第28節 表面・界面現象を利用したデバイス
 第29節 CNT のデバイスへの展開

第6章 解析・評価技術

 第1節 物理センサの機能評価
 第2節 化学的機能評価(化学センサ性能など)
 第3節 半導体デバイス評価技術(半導体パラメータアナライザ)
 第4節 SEM,TEM
 第5節 ラマン分光法
 第6節 蛍光計測

第7章 システムへの適用例

 第1節 自動車システムへの適用
 第2節 情報通信システムへの適用
 第3節 環境システムへの適用
 第4節 セーフティシステムへの適用
 第5節 アミューズメントシステムへの適用
 第6節 宇宙システムへの適用



第8章 今後の展望
 
 第1節 μ TAS
 第2節 一分子マニピュレーション,分子手術
 第3節 組織工学・再生医療
 第4節 自動車
 第5節 センサーネットワーク
 第6節 集積化CMOS−MEMS技術と指紋センサチップ
 第7節 五感センサ  
 第8節 マイクロ発電
 第9節 宇宙,飛行機
 第10節 情報通信(記憶,光スイッチ,ディスプレイ,携帯電話)
 第11節 RF MEMS の情報通信への応用
 第12節 バーチャル・非日常世界
 第13節 MEMS と半導体集積回路の融合