ホームページへ書籍一覧へ

発行:(株)産業技術サービスセンター
−実用 ナノテクノロジーの基盤技術−
マイクロマシン技術総覧

 総目次 
第T編 基 礎 編

第1章 マイクロ理工学
 第1節 相似則
 第2節 マイクロ機械力学
 第3節 マイクロマテリアルとマイクロ材料力学
 第4節 マイクロ流体力学
 第5節 マイクロ伝熱工学
 第6節 電磁気現象における寸法効果
 第7節 マイクロトライボロジー

第2章 マイクロ材料
 第1節 シリコン
 第2節 光硬化ポリマー
 第3節 機能性ポリマー
 第4節 ガラス
 第5節 超塑性材料
 第6節 圧電材料
 第7節 磁歪
 第8節 形状記憶合金(SMA)
 第9節 ゲル
 第10節 セラミックス
 第11節 金属
 第12節 カーボンナノチューブ
 第13節 エレクトロレオロジー流体 

第U編 微細加工技術

第1章 機械加工

 第1節 マイクロ切削加工
 第2節 マイクロ穴加工
 第3節 超精密・マイクロ切削加工
 第4節 マイクロ研削加工
 第5節 マイクロ塑性加工
 第6節 マイクロブラスト加工
 第7節 マイクロ射出成形加工
 第8節 メタルジェット加工

第2章 マイクロ電気加工・ビーム加工
 第1節 マイクロ放電加工
 第2節 電子ビーム加工
 第3節 イオンビーム加工
 第4節 YAGレーザによるマイクロ加工
 第5節 エキシマレーザによるマイクロ加工
 第6節 レーザマイクロジェット加工

第3章 エッチング
 第1節 湿式エッチング
 第2節 ドライエッチング

第4章 PVD,CVD
 第1節 真空蒸着法
 第2節 スパッタリング法
 第3節 イオンプレーティング法
 第4節 プラズマCVD

第5章 LIGAプロセス
 第1節 シンクロトロン放射光
 第2節 LIGAプロセスによるマイクロ加工

第6章 マイクロ光造形
 第1節 光造形

第V編 マイクロマシンの概要

第1章 総  論

 1.ナノ・マイクロマシンに要求される仕事
 2.ナノ・マイクロマシンに要求される機能
 3.ナノ・マイクロマシンを構成する機構
 4.ナノ・マイクロマシンで設計すべき機構 要素  
 5.ナノ・マイクロマシンを設計するときの 設計手法

第2章 マイクロメカニズム 《伝達,締結,保持要素》
 第1節 微小歯車
 第2節 軸受 
 第3節 ばね
 第4節 セラミック・マイクロコイル
 第5節 ナノマシンの要素

第3章 マイクロアクチュエータ
 第1節 圧電アクチュエータ
 第2節 磁歪アクチュエータ
 第3節 静電アクチュエータ
 第4節 超音波アクチュエータ
 第5節 高分子アクチュエータ
 第6節 マイクロ流体アクチュエータ
 第7節 機能性流体アクチュエータ
 第8節 光アクチュエータ
 第9節 気液相変化アクチュエータ

第4章 マイクロマニピュレーション

 第1節 レーザトラッピング
 第2節 ニアフィールドアクチュエーション
 第3節 音場
 第4節 静電界
 第5節 磁界

第5章 マイクロ計測

 第1節 微小部品の形状・寸法測定
 第2節 トルク・摩擦
 第3節 摩擦
 第4節 熱
 第5節 凝着・固着力
 第6節 微小流体計測

第W編 マイクロマシンの応用例

《マイクロアクチュエータの応用》
《マイクロ要素・デバイス》
《マイクロセンサデバイス》
《マイクロシステム》
《その他》

T O P へ 刊行の主旨 執筆者一覧