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発行:(株)産業技術サービスセンター
−実用 ナノテクノロジーの基盤技術−
マイクロマシン技術総覧

 刊行の主旨 
 マイクロマシンに関する関心と期待が急速に高まろうとしていた1992
年、「マイクロメカニ カル実用化技術総覧」が潟tジ・テクノシステムから
刊行されました。この企画ではマイクロメカニカルシステムに関する基礎技
術を網羅するとともに、新技術や研究開発の紹介およびマ イクロ化の要求に
対して役立つよう配慮しており、マイクロ関係の事項を調べるのに大変重宝
しております。
 一方、マイクロマシンに関連する研究開発は飛躍的に拡大して技術の蓄積
がなされ、実用化 も着実に進んできております。特に光学機器やバイオ機器
関係では不可欠な要素として急速な 発展が見えてきています。また、マイク
ロからナノの領域への挑戦が各分野でも始まってきて います。
 このような状況において、これまでの進歩の過程および最新のナノテクノ
ロジーの紹介を含めて『マイクロマシン技術総覧』として新たに発刊するこ
とにしました。
 本書は、マイクロマシン関係の基礎、微細加工技術、要素技術など最近の
研究開発と成果、 製品化の応用事例、また、特にナノテクノロジー関連にお
ける最新の研究動向を全編に組み入 れることにより一層の充実をはかりまし
た。
 執筆陣は、最新の研究・開発に取組んでおられる多くの研究者・実務者の
協力を得ることができました。
 マイクロ・ナノ関連の新しい分野で開発・計画に携わる技術者にとって普
遍的な技術の書と して広く活用されることを期待しております。

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