序 文
第１章 プロセス関係
第１節 ウェットエッチングプロセス －結晶異方性エッチング－
第２節 ドライエッチング
第３節 ＬＩＧＡプロセス
第４節 微細な転写技術の試み
第２章 情報機器関連ＭＥＭＳ
第１節 マイクロマシン技術を応用した ミリ波・サブミリ波帯回路素子
第２節 マイクロマシンドリレー
第３節 フィールドエミッタとその応用
第３章 光関係
第１節 光マイクロマシン
第２節 面発光レーザと光マイクロマシン
第３節 フォトニック結晶
第４節 通信用光ＭＥＭＳ
第４章 マイクロプローブと情報記録
第１節 走査型プローブ顕微鏡による情報記録と高感度センシング
第２節 近接場光記録
第３節 超解像技術と近接場超解像構造「スーパーレンズ」を用いた光デイスク
第４節 強誘電体薄膜へのＳＰＭ情報記録
第５節 ＳＰＭとリソグラフィ
第５章 マイクロ物理
第１節 壁面乱流の知的能動制御
第２節 ＭＥＭＳの要素材料の機械的特性
第３節 スティッキング対策
第４節 マイクロフライト
第５節 微小ＳＴＭによる分子機能素子特性計測への試み
第６章 マイクロエネルギー源
第１節 環境情報マイクロシステムと自動発電技術
第２節 Power Micro electromechanical Systems
第３節 μ- ＰＥＭＦＣ（マイクロＦＣ）
第４節 熱光発電技術
第７章 センサ材料
第１節 強誘電体・磁性体機能調和人工格子
第２節 ＳＯＩ（Si on Insulator）及び シリコン成長技術のセンサ・マイクロマシンへの応用
第３節 構造・形態制御機能薄膜
第４節 マイクロ磁気センサ
第８章 マイクロマシン材料
第１節 圧電・電歪効果を利用したセラミックスアクチュエータ
第２節 圧電ＰＺＴ積層膜の作製とＭＥＭＳへの応用
第３節 ナノ結晶シリコンの多機能性
第４節 マイクロマシン材料としてのカーボンナノチューブおよびカーボンナノ構造物
第９章 マイクロマシンの実用化
第１節 マイクロマシン実用化の課題
第２節 ＭＥＭＳインフラストラクチャーの必要性
第３節 光通信分野における研究開発例と産官学共同研究
第４節 オリンパス光学のＭＥＭＳ実用化戦略と課題
第５節 企業におけるマイクロマシン事業戦略
第６節 ベンチャー企業におけるＭＥＭＳ実用化
第７節 ＭＥＭＳ実用化：世界の動向
第８節 日本のＭＥＭＳ実用化の特徴
－日本企業における実用化，事業化の特徴と技術評価の視点について－
第１０章 集積化分析チップ
第１節 極微量全血分離・分析を目指したヘルスケアチップの創製
第２節 マイクロ分析チップ技術による細胞分離・分析システム
第３節 Microfabrication技術を用いるバイオセンシングシステム
第４節 遺伝子解析用デバイス
第５節 高分子のアッセンブリーに基づくバイオナノシステムの構築
―ドラッグ・遺伝子デリバリーへの展開―
第１１章 分子検出Ⅰ
第１節 石英ガラス製電気泳動チップを用いたＵＶ吸光度リニアイメージング検出
第２節 細胞間伝達物質，生体内分子のマイクロチップによる計測
第３節 マイクロマシーニングによる電気化学センサおよび分析システムの微小化
第４節 無作為液中自己組織化法によるバイオチップ開発
第１２章 分子検出Ⅱ
第１節 キャピラリ―電気泳動による高性能分離分析
第２節 水晶振動子を用いたバイオセンシング
第３節 新規イオノフォアの分子設計と化学イオンセンサーへの応用
第４節 マイクロ・ナノチップ中における長鎖ＤＮＡのダイナミクス
第１３章 ＤＮＡ関係
第１節 ＤＮＡの利用と操作
第２節 蛍光および表面増強ラマン散乱による単一分子の検出と同定
第３節 ＤＮＡコンジュゲート材料による遺伝子ナノ診断
第４節 バイオマイクロシステムによるＤＮＡの１分子操作
第１４章 ナノバイオロジー
第１節 オンチップ１細胞培養システムを用いた細胞状態の比較分析
第２節 １分子蛍光イメージング法によるポストゲノム研究
第３節 生体リニアモーター，回転モーターの運動メカニズム
第４節 進化分子工学からプロテインチップへ
第１５章 神経インターフェ－ス
第１節 電極アレイによる神経活動計測
第２節 微小電極を用いたテレメトリシステム
第３節 失明者の視覚代用装置
第４節 神経インターフェース研究におけるマイクロニューログラム法の応用 |
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