最適 精密洗浄技術

最適 精密洗浄技術
具体的事例をもとにした実務にすぐ役立つ実用書!!
表面清浄度のレベルアップを実現するための精密洗浄技術をわかりやすく解説!!
編集
平塚 豊
日立プラント建設㈱ クリーンルーム事業部 副技師長
角田 光雄
東京家政学院大学 教授
間宮 富士雄
日本シービーケミカル㈱ 常務取締役
執筆者 14名 執筆者一覧
発刊 1990年2月
体裁 B5判 上製本 690頁
価格 9,524円(+税) ※ 国内送料弊社負担
ISBN 978-4-924728-15-8
発行 株式会社テクノシステム